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          工程案例
          浙江集邁科微電子有限公司制程氣體過濾設備項目
          日期:2020/8/10 14:57:08 人氣:1527

          【項目名稱】

          浙江集邁科微電子有限公司制程氣體過濾設備項目


          【項目概況】

          浙江集邁科微電子有限公司制程氣體主要產生于各生產工序過程中。根據業主提供的資料,該項目廢氣主要為:酸性工藝廢氣、堿性工藝廢氣、一般廢氣、有機廢氣。根據廢氣的性質以及區域劃分,有機廢氣、一般廢氣單獨處理,將酸性和堿性廢氣合并處理,處理后排放達到環評要求。


          【廢氣分類及風量】

          設計廢氣參數詳細如下:

          1.酸堿性工藝廢氣,設計風量:35000m3/h。

          2.有機廢氣,產生濃度VOC<60mg/m3,設計風量約20000m3/h。

          3.一般性廢氣,主要產生源為泵設備熱氣體,設計風量:20000m3/h。

           

          【廢氣排放標準】

          廢氣處理后排放執行如下標準:

          執行標準

          表號

          級別

          排氣筒

          高度

          污染物指標

          標準限值

          濃度

          mg/m3

          速率

          kg/h

          無組織排放廠界外最高濃度限值mg/m3

          《大氣污染物綜合排放標準》

          (GB16297-1996)

          表2

          二級

          15m

          氟化物

          9.0

          0.1

          0.02

          錫及其化合物

          8.5

          0.31

          0.24

          非甲烷總烴

          120

          10

          4.0

           

           

           

           

          《電鍍污染物排放標準》(GB21900-2008)

          表5

          15m

          氰化氫

          0.5

          /

          /

          硫酸

          30

          /

          /

          NOx

          200

          /

          /

          表6

          單位產品基準排氣量其他鍍種(銅、鎳等)

          37.3m3/m2(鍍件鍍層)

          《工業企業揮發性有機物排放控制標準》DB12/524-2014

          15m

          VOCs

           

           

           

           

          【廢氣處理工藝】

          1.酸堿性工藝廢氣,設計工藝為:

          廢氣收集系統+堿液洗滌塔+風機+煙囪排放。

          2.有機廢氣,設計工藝為:

          廢氣收集系統+堿液洗滌塔+過濾活性炭吸附+風機+煙囪排放。

          3.一般性廢氣,設計處理工藝:

           廢氣收集系統+風機+煙囪排放。

           

          【工程照片】




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