【項目名稱】

浙江集邁科微電子有限公司制程氣體過濾設備項目

【項目概況】

浙江集邁科微電子有限公司制程氣體主要產生于各生產工序過程中。根據業主提供的資料，該項目廢氣主要為：酸性工藝廢氣、堿性工藝廢氣、一般廢氣、有機廢氣。根據廢氣的性質以及區域劃分，有機廢氣、一般廢氣單獨處理，將酸性和堿性廢氣合并處理，處理后排放達到環評要求。

【廢氣分類及風量】

設計廢氣參數詳細如下：

1.酸堿性工藝廢氣，設計風量：35000m3/h。

2.有機廢氣，產生濃度VOC＜60mg/m3，設計風量約20000m3/h。

3.一般性廢氣，主要產生源為泵設備熱氣體，設計風量：20000m3/h。

【廢氣排放標準】

廢氣處理后排放執行如下標準：

【廢氣處理工藝】

1.酸堿性工藝廢氣，設計工藝為：

廢氣收集系統+堿液洗滌塔+風機+煙囪排放。

2.有機廢氣，設計工藝為：

廢氣收集系統+堿液洗滌塔+過濾活性炭吸附+風機+煙囪排放。

3.一般性廢氣，設計處理工藝：

 廢氣收集系統+風機+煙囪排放。

【工程照片】